Profilm 3DFilmetrics 3D光学轮廓仪

Filmetrics 白光干涉仪（3D光学轮廓仪）
 

　　Profilm3D的解析力

　　每台Profilm3D带有直观的粗糙度，表面形貌和台阶高度的测量软件。所有常见如ISO 25178 所规范的粗糙度参数都支持，也包括軟件功能用于形貌分析， 如形状去除和波长过滤，都包含在基本Profilm3D软件。对于更进阶的功能，Filmetrics提供了我们的合作伙伴TrueGage的TrueMap软件可进一步处理 Profilm3D数据， 这当然也与业界其他标准分析软件兼容。
 

　　其他轮廓仪列为选备的功能已经是我们的标准配备

　　为什么需要额外支付每位使用者所需要的功能？每台Profilm3D都已标配自动化X/Y平台包含tip/tilt 功能。
 

　　以我们的阶高标准片建立标准

　　每台Filmetrics 白光干涉仪（3D光学轮廓仪）配备了一个10微米阶高标准片，可达0.5%准确度。另我们还提供具有100nm，2微米以及4微米等多阶高标准片。
 

　　大视场

　　The Profilm3D以10倍物镜优异地提供更宽广的2毫米视野, 其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要。 更进一步减少总体成本。 本司也提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样。
 

　　白光干涉仪（3D光学轮廓仪）常见的选购配件：

　　主动式防震台

　　4微米，2微米， 和100纳米多台阶高度标准。1.25英寸方形硅片上镀铬

　　手动4-物镜炮塔及位置感测

　　自动4-物镜炮塔及位置感测