企业性质授权代理商
入驻年限第7年
产品介绍：
OAI Series 6000 生产型曝光机
0.5μ 精确正面对准
1μ 正反面对准
高产量：170 WPH in 1st Mask Mode
均匀性优于 ±3%
适用于各种规格的芯片
自动平衡补偿
适用于超 强工艺的重复性要求
亚微米分辨率
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