半导体缺陷检测 PULSAR系列

 PULSAR L系列及PULSAR H系列是应用于电子、半导体工业领域的缺陷检测设备如WLP、PLP、晶圆制造前端工艺等，可实现从低分辨率到高分辨率的缺陷检测、分类、定位测量等功能。

产品特点

• 自主设计开发，拥有完全自主知识产权

• 定位测量功能及缺陷检测功能

• 高分辨率

• 高数据率和高灵敏度图像处理系统

• 高速并行的图像处理系统

• 多功能可扩展的应用软件

产品参数