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赛默飞世尔 DUALBEAM 显微镜 Helios 5 Hydra DualBeam

赛默飞电子显微镜

企业性质生产商

入驻年限第2年

营业执照已审核
同类产品FIB-SEM DualBeam(10件)
赛默飞世尔 DUALBEAM 显微镜 Helios 5 Hydra DualBeam 核心参数
电子枪: 钨灯丝

产品介绍：

Thermo Scientific Helios 5 Hydra DualBeam（等离子聚焦离子束扫描电子显微镜，简称 PFIB-SEM）可以提供四种不同的离子种类作为主离子束，让您可以选择能为样品和用例（如扫描透射电子显微镜 [STEM] 和透射电子显微镜 [TEM] 样品制备和 3D 材料表征）提供最 佳结果的离子。

您可以在不到十分钟的时间里轻松地在氩、氮、氧和氙之间切换而不会牺牲性能。 这种前所未有的灵活性极大地扩展了 PFIB 的潜在应用领域，并可实现通过研究离子-样品相互作用来优化现有用例。

Helios 5 Hydra DualBeam 将创新的新型多离子种类等离子 FIB (PFIB) 柱与单色 Thermo Scientific Elstar UC+ SEM 色谱柱相结合，提供先进的聚焦离子和电子束性能。直观的软件和前所未有的自动化水平和易用性可以观察和分析相关的亚表面体积信息。


适用于材料科学的 Helios 5 Hydra DualBeam

使用 STEM 或 TEM 进行高分辨率材料分析时，高质量的样品制备是成功的关键因素。此外，它也被视为材料表征实验室中最 具挑战性和最耗时的任务之一。用于制备 S/TEM 所需的超薄样品的传统方法非常耗时，可能需要经过大量培训的人员付出数小时甚至数天的努力。各种不同的材料以及现场的特定需求使这一过程更加复杂化。等离子 FIB 结合专有和创新软件来实现自动化和易用性，解决了许多上述挑战。

例如，氙等离子 FIB 是无镓样品制备的标准，对敏感样品（如含铝材料）至关重要。Helios 5 Hydra DualBeam 所有四个离子束种类之间快速切换的新增功能更进一步，可满足每种单独材料的需求，使您可以找到理想的条件来制备可能的最 高质量样品。

 适用于生命科学的 Helios 5 Hydra DualBeam

Helios 5 Hydra DualBeam 通过结合高通量等离子技术和高分辨率 FIB-SEM 断层扫描，开启了未经探索的全新生命科学应用领域。由于采用具有四个离子种类的最 先进电感耦合等离子体 (ICP) FIB，可为每种样品使用最 佳离子束。无论制备方法或树脂类型如何，都可为每个样品实现出色的表面质量。除了更高的铣削通量和样品兼容性外，先进的软件套件还有助于实现一致、高质量、无 Ga 的大容量采集和 3D 数据分析。

对于生命科学研究，Helios Hydra DualBeam 提供：

  • 无伪影铣削，无论样品制备方法如何

  • 可达到 Ga-FIB 铣削量 10 倍的快速高效铣削

  • 全自动 3D 数据采集，结合 Auto Slice & View 软件，可实现更高通量

  • 使用旋转铣削，可对大型水平表面（直径不超过 1 mm）进行纳米厚度连续切片

  • 一种适合多用户环境的多功能解决方案，兼容多种样品和实验问题

想了解更多？

  • 氧等离子 FIB 与所有常见的树脂和样品制备方案兼容，甚至能够提供卓 越的数据采集效率和图像质量。在我们的应用指南中阅读更多内容：“嵌入丙烯酸和环氧树脂的小鼠脑组织 3D 体积成像” ›

  • 通过对莫纳什大学的 Alex de Marco 教授的访谈 ›，了解其他生命科学研究人员如何利用 Helios Hydra DualBeam 来推动他们的研究

10.jpg

小鼠海马体器官型脑片培养的 3D 重建。图像承蒙约翰霍普金斯大学 S. Watanabe 提供。


主要特点

应用空间广泛

独特离子源可提供以下四种快速、可切换离子种类，应用空间最为广泛：Xe、Ar、O、N

高通量和高质量

使用下一代 2.5 μA 等离子 FIB 色谱柱进行高通量、高质量和统计学相关的 3D 表征、交叉切片和微加工。

先进的自动化

使用选配的 AutoTEM 5 软件，以最快速轻松的方式实现自动化多点原位和非原位 TEM 样品制备以及交叉切片

高质量样品制备

由于采用新型 PFIB 色谱柱，可实现 500 V 最 终抛光以及在所有操作条件下均可提供出色的性能，可以用氙、氩或氧进行高质量无镓 TEM 和 APT 样品制备。

纳米级实现周期短

借助 SmartAlign 和 FLASH 技术，任何经验水平的用户都可以最 短时间获得纳米级信息

完整的样品信息

可通过多达六个集成在色谱柱内和透镜下的集成探头获得清晰、精确且无电荷对比度的最完整的样品信息

电子和离子束诱导沉积和蚀刻

通过选配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 气输送系统，在 DualBeam 系统上实现最 先进的电子和离子束诱导沉积和蚀刻功能。

精确的样品导航

借助 150 mm 压电载物台的高稳定性和准确性或 110 mm 载物台的灵活性以及选配的腔室内 Thermo Scientific Nav-Cam 摄像机，可根据具体应用需求进行定制。

无伪影成像

基于集成的样品清洁度管理和专用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式

 

性能数据


Helios 5 Hydra CX DualBeamHelios 5 Hydra UX DualBeam
电子束分辨率

  • 在最 佳 WD：

    • 1 kV 时 0.7 nm

    • 500 V (ICD) 时 1.0 nm

  • 在重合点：

    • 15 kV 时 0.6 nm

    • 1 kV 时 1.2 nm

电子束参数空间

  • 电子束电流范围：在所有加速电压下 0.8 pA 至 100 nA

  • 加速电压范围：350 V – 30 kV

  • 着陆能量范围：20* eV – 30 keV

  • 最 大水平射野宽度：4 mm WD 时 2.3 mm

离子光学系统

高性能 PFIB 色谱柱，具有独特的电感耦合等离子 (ICP) 源，支持四种离子种类，并具有快速切换能力

  • 离子种类（初级离子束）：Xe、Ar、O、N

  • 切换时间 <10 分钟，仅需软件操作

  • 离子束电流范围：1.5 pA 至 2.5 μA

  • 加速电压范围：500V – 30 kV

  • 最 大 水平射野宽度：在等离子束重合点处为 0.9 mm 

重合点时的氙离子束分辨率

  • <使用首 选统计方法在 30 kV 时为 20 nm

  • 使用选择性边缘方法在 30 kV 时 <10 nm

腔室

  • 在分析 WD 时的 E 和 I 束重合点 (4 mm SEM)

  • 端口：21

  • 内部宽度：379 mm

  • 集成式等离子清洁器

探头

  • Elstar 色谱柱镜筒内 SE/BSE 探头（TLD-SE、TLD-BSE）

  • Elstar 色谱柱柱内 SE/BSE 探头 (ICD)*

  • Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD)

  • 查看样品/色谱柱的 IR 摄像机

  • 用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能腔室内电子和离子探头 (ICE)

  • 腔室内 Nav-Cam 样品导航摄像机*

  • 可伸缩、低电压、高对比度、定向、固态反向散射电子探头 (DBS)*

  • 集成的等离子束电流测量 

 
载物台和样品

灵活的五轴电动载物台：

  • XY 范围：110 mm

  • Z 范围：65 mm

  • 旋转：360°（无限）

  • 倾斜范围：-38° 至 +90°

  • XY 重复性：3 μm

  • 最 大样品高度：与共心点间距 85 mm

  • 0° 倾斜时的最 大样品重量：5 kg（包括样品架）

  • 最 大样品尺寸：完全旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）

  • 计算中心旋转和倾斜

高精度五轴电动载物台，配有压电驱动的 XYR 轴

  • XY 范围：150 mm

  • Z 范围：10 mm

  • 旋转：360°（无限）

  • 倾斜范围：-38° 至 +60°

  • XY 重复性：1 μm

  • 最 大样品高度：与共心点间距 55 mm

  • 0° 倾斜时的最 大样品重量：500 g（包括样品架）

  • 最 大样品尺寸：完全旋转时 150 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）

  • 计算中心旋转和倾斜

* 可选配，取决于配置


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