企业性质生产商
入驻年限第8年
介质温度: | 0-50 |
工作压力: | 真空直至100bar |
中韩合作研发厂家直销 交货周期短 各方面成本低 优质的国产质量流量控制器,性能比肩进口 价格实惠优质的性能极具性价比 该产品为定制产品(可特殊定制)价格需电议 山西仁荷微电子科技有限公司主要生产INHA气体质量流量控制器,气体流量计。 本公司生产的气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域。如:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。 产品优势: MF系列 MF-50/100/200C MF-100/200M 主要技术指标: 编号 项目 MF-200C MF-200M 1 流量规格(N2) 10sccm~30slpm 2 准确度 ±1%F.S(Full Scale) 3 重复精度 ±0.25%F.S(Full Scale) 4 响应时间 ≤2sec(特别要求时:≤1sec) 5 耐压 ≤90bar 6 工作环境温度 0℃~50℃ 7 输入输出信号 0~5V 0~5V or 4~20mA 8 供电 +15Vdc or +24Vdc 350mA 9 漏率 1×10atm.cc/sec 10 使用范围 2~100%满量程 公司电话:0354-3998189 我的联系方式:田经理 18234418230 email:1939255606@qq.com 公司网址: http://www.inha.tech 微信关注:
工作原理 如图: 结构 气体质量流量计由流量传感器(Sensor),分流器通道和流量放大电路等部件组成;在气体质量流量计的基础上,再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。
什么是质量流量计?什么是质量流量控制器? 质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。 质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。 什么情况下用质量流量计, 什么情况下用质量流量控制器 ? 一般而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用质量流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。 5. 质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么? (1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。 对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计 / 质量流量控制器,则一般可以忽略不计。 (2) 测量控制的自动化 质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。 (3) 精确地定量控制流量 质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用 选择产品和订货时应当注意什么? 这一点关系到用户的切身利益,涉及的问题也比较多,因而我们尽可能地给以祥尽﹑客观的回答。 (1) 注意选择正确的品牌 一般应当全面衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。 (2) 注意选择正确的量程 A. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量(质量流量)。 B. 根据厂家提供的质量流量转换系数表,将您所用气体的质量流量值换算成与氮气(标定气体)等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定,请向厂家说明。有关质量流量转换系数的问题,以下还有进一步解答。 C. 确定所需标准量程。厂家一般有自己的各种规格的标准量程,您实际使用的流量最大值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的,如果实际流量较小而量程值选取过大,则测量值的相对误差较大。 (3) 注意选择正确的工作压力指标 不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。 质量流量控制器(MFC)除最大工作压力之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,即MFC进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。 (4) 注意选择合适的精度指标 准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标,其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求最高,应考虑自己的实际需要。 如果对厂家给出的指标不放心,有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。 (5) 注意选择合适的响应时间指标 有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求,用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时,还应注意其响应过程及动态特性。 (6) 注意对安装位置有无要求 有的厂家的产品要求必须水平位置安装。 (7) 注意使用气体和适用范围 MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质(特别是使用对腐蚀性气体)情况等均有一定适用范围,请注意阅读说明书或向厂家咨询。 (8) 注意接头形式 通常有双卡套(Swagelok)和VCR两种接头可以选择, VCR接头性能更好适合于高端应用。 (9) 订货应注明: 产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体(特别是腐蚀性气体)、接头形式和数量 |