美国布鲁克扫原子力显微镜

参数：

X-Y扫描范围：             90µm x 90µm（标准）, 85µm （最小）

Z扫描范围：               10um（标准成像与压力模式），9.5um（最小）

X-Y噪声（闭环）：          ≤0.15 nm RMS，标准成像带宽，(可达625 Hz)

Z噪声（闭环）：            35pm RMS，标准成像带宽，（可达625HZ）

                               50pm RMS，力曲线带宽，（0.1HZ-5KHZ）

非线性积分（X-Y-Z）：       <0.5%

样品大小：                 真空吸盘210mm，直径 ≤210mm，厚度 ≤15mm

电动定位平台（X-Y）：       180mm × 150mm 检测区域;

                               2µm重复性, 单向;

                               3µm 重复性，双向；

光学显微镜：               500万像素的数码相机;
                               180微米至1465μm可视面积;
                               数码变焦和机动焦点

控制器：                   NanoScope V

工作台：                   整合了所有控制器，符合物理和人体工学设计

隔振装置：                 集成化，气动

隔音装置：                 可在连续85DBC环境下连续工作

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