微波单片去胶机

工艺腔室: 铝

腔室容量: 10升

腔室尺寸: 300(w) x320(D) x 170 (H) mm

样品尺寸: 6寸，向下兼容，可处理12寸样品

腔门: 抽式带加热台盘（选配），带观察窗

微波源: 2.45GHz，最大1200W

气 路: 标配两路工艺气体，带质量流量计

真空规: Pirani

真 空 泵: 千泵或者油泵可选

真空 阀: 电子气动阀

控制系统: 10.4寸触摸屏，Windows系统，图形化操作界面

选 配 件: 气路 (可升级至4路) ，选配250°C加热台盘

电力需求: AC 50Hz  380/240V