二手 奥林巴斯 MX61 金相显微镜 全新 顶配 2017年产

简单介绍：

MX61/MX61L奥林巴斯半导体显微镜200mm半导体检查显微镜/300mm晶圆FPD检查显微镜

 • 大型载物台搭载: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圆**检查(MX61L) 

• 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利

 • 多种观察方式多种照明方式多种附件以满足不同应用要求 

• 透射和反射照明可同时使用, 极大提高液晶基板观察效果

200mm半导体检查显微镜/300mm晶圆FPD检查显微镜

详情介绍：

• 大型载物台搭载: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圆**检查(MX61L)

• 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利

• 多种观察方式多种照明方式多种附件以满足不同应用要求

• 透射和反射照明可同时使用, 极大提高液晶基板观察效果

奥林巴斯 MX61/MX61L 产品特点缩短检查用时，提高检查效率自动聚焦附件 MX-AF透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式，甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和**的自动对焦，甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。两种照明装置可选，通用型及高数值孔径型。为FPD，MASK板检查提供合适的照明，并且可配备起偏镜，实现投射光简易偏光观察。高反差，更高分辨率，更高倍率检查用于光刻胶残留检查的荧光观察方式共聚焦附件 U-CFU荧光分光镜模块共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦，获得高分辨率，高反差的共焦图像。

备有U.B.G等多种荧光方式可选，用于光颗胶残留以及OLED检查。方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C用于晶圆以及器件，甚至焊脚的内部检查 近红外线观察附件MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口，使得用PC控制显微镜电动部分成为可能，并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。包括专门的红外物镜等附件，对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正，用于IC深层或内部检查，可实现对WAFER BUMP的**检查。

   ○  大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆**检查(MX61L)

   ○  采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利

   ○  多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求

   ○  透射和反射照明可同时使用，极大提高液晶基板观察效果

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