德国布鲁克 FastScan Pro 原子力显微镜

Dimension FastScan Pro 提供当今工业界相当快速的扫描和丰富的性能测量。该系统支持全自动或半自动测量，同时具有易操作性以及满足实现质量控制、质量保证和故障分析的低成本要求。

生产多功能性

FastScan Pro 利用开放性平台、大样品或多样品平台以及各种易用性功能，为工业 QA、QC 和 FA 部门提供灵活的高性能纳米级计量。该系统可用于半导体界、硬盘界、HB-LED业界 的 2 英寸至 12 英寸晶圆的自动测量。它具有增加的 XY 方向行程，可完全访问 200mm 晶圆或直径为 200 mm 的面积中的多个样品中的多个区域，并配有 300 mm 晶圆的可选样品台。该系统还提供用于形貌、粗糙度和其他计量参数的分析。拥有可更换的高速FastScan 扫描头以及具有 90μm 扫描范围的 Icon 扫描头（用于更大的扫描和高精度地形性能）。

强大的自动化软件

AutoMET™ 的测量流程软件提供操作简单、快速、全自动、以及关键的质量控制参数。该软件允许在多个样品或单个大型样品上进行多点自动测量。它还提供光学和 AFM 图型识别、探针针尖中心化、空白晶圆和图形化后晶圆的测试，以及数十纳米范围内的图像位置对准精确度。全面而简单的测量流程编写使高级用户在在线和离线软件的应用中跟快捷、有效。

轻松创建测量流程，使工程师能够按名称定义测量位置、以及测量方式和每个位置的测量次数

流程测试窗口，显示基于晶圆的分布，用于精确定义X-Y 测量位置。

精确控制探针于样品之间相互作用

独特的原子力显微镜技术可以控制探针和样品之间任何一点的范德华力。这种精确的探针和样品之间的力控制允许将机器用在广泛的样品类型上，从软聚合物、薄膜和电气样品到硬材料。它还提供最 低的可用于成像的力，探针寿命超过数百次扫描和数据收集。

Dimension FastScan Pro 拥有精确控制探针于样品的相互作用的能力，适用于各种样品类型，从软聚合物、薄膜和电学样品到非常坚硬的材料都可以进行扫描。