寒武纪等离子清洗机真空式等离子清洗机

设备简介：小容积真空式等离子处理设备，搭配中频/射频等离子电源，全自动式运行系统，可适应各种小尺寸产品的表面处理工艺，如表面活化、去胶、粘接预处理等；操作便捷，体积小巧，可放置在日常工作桌面，性价比高。

应用领域：主要各大院校、科研实验室、研发实验室、LED、医疗行业、日用消费品生产等

设备原理：当chamber内部之压力低到某一程度(约10-1 torr左右)时, 气态正离子开始往负电极移动, 由于受电场作用会加速撞击负电极板, 产生电极板表面原子, 杂质分子和离子以及二次电子(e-)…等, 此e-又会受电场作用往正电极方向移动, 于移动过程会撞击chamber内之气体分子(ex. : Ar原子…等), 产生Ar+等气态正离子, 此Ar+再受电场的作用去撞击负电极板, 又再产生表面原子以及二次电子(e-)…等, 如此周而复始之作用即为Plasma产生之原理.