详细介绍
Veeco D3100 Dimension Head ( AFM Scanner )
Veeco D3100 扫描头 ( AFM Scanner )
扫描范围：90um*90um
Dimension 3100 SPM使用自动化的原子力显微镜和扫描隧道显微镜技术，可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。它的激光点定位系统和无需工具改变扫描技术的能力保证了仪器的适用性、易操作性和高的数据处理能力。
| 仪器名称： | Dimension3100原子力显微镜 |  |
| 型 号： | Dimension 3100 |
| 生产厂家： | Veeco |
主要配置： | – Dimension 3100 扫描头和Nanoscope IIId控制器
– 样品尺寸可达到8英寸晶圆，测量区域可达到6英寸范围。
– 全面的表面局域电学测量模块(SCM/CAFM/SSRM，与Multimode共用)
| 性能指标： | | 同主要用途 |
|
主要用途： |
– 表面形貌、成分分辨
• 具备接触、轻敲等多种模式成形貌像，XY分辨率0.25nm，Z噪声<0.05nm
• 摩擦力图像、定量相位图像
– 表面局域电场力、磁场力和表面电势：
• 电场力、磁场力图像
• 表面电势可分辨表面两点电势差值，分辨率10mV
– 载流子浓度、氧化层缺陷、局域导电性
• 扫描电容模块(SCM)可测量dc/dV曲线，表征表面局域载流子浓度、氧化层缺陷等
• 导电原子力(CAFM) 可测量I/V曲线，表征表面局域导电性。偏压范围1mV-12V，电流范围10nA-1uA
• 扫描扩展电阻(SSRM)可测量表面电阻分布，表征局域导电性和载流子浓度等。偏压范围1mV-12V，电流范围10pA-1mA
– 纳米加工
• 可编程控制针尖动作和测量过程，对表面进行纳米操纵、刻蚀等 |
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