mask智能清洗系统

    SPIN旋转清洗形式，有效去除光罩表面附着污物之洗净及去除
    因应各种产品尺寸，更换固定治具即可作业，提升机台功能性 
    搭配超音波水洗清洗，去污力提升 
    触控屏幕接口人性化，操作简单，上手容易 
    依客制化需求可变更清洗流程