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企业性质授权代理商
入驻年限第3年
为用户提供最高的效率
满足客户需求是奥林巴斯的第一要务。 正是牢记这一点，奥林巴斯所提供的显微镜解决方案让工业检查变得更轻松、更便捷、 更高效。同时，当将显微镜成功集成应用到生产线上，操作舒适性等人体工程学问题与 晶圆安全问题就显得尤为重要，我们注重解决此类问题。奥林巴斯始终为半导体晶圆、 平板显示器和电子设备等在内的多个行业，提供新构思、解决方案和技术支持。
MX61
半导体晶圆检查显微镜(最大200mm)，这款显微镜的孔径光阑与物 镜相互联锁，能够快速、精确地完成检查。设计符合人体工程学原理 ，使用起来舒适、自如。符合SEMI S2/S8，拥有安全性与可靠性双 重保障。
MX61 系列——半导体晶圆与平板显示器检查显微镜 专为无尘室生产环境设计
所有电动部件均被封闭在一个屏蔽结构内，而且制造材料均具有出色 的耐磨性，能够完全满足无尘室要求。 MX61系列显微镜最大可检查 尺寸为200mm的晶圆，而MX61L最大则可检查300mm的晶圆，两 款具有同样小的占地空间，可减少空间分配需求。
符合SEMI S2/S8，确保安全性和可靠性
MX61系列显微镜完全符合SEMI S2/S8、CE和UL等多项国际规范 和标准。
防静电保护功能，防止晶圆污染
显微镜机身、镜筒、呼吸罩及其他部件全部采用防静电工艺加工而 成，以防止污染晶圆。
晶圆托架和玻璃台板有150-200mm和200-300mm*1多种规格可供用户选择。若生产线所加工晶圆的尺寸发生变化，仅需以极低的成本 改造机身框架即可。MX61系列显微镜有多款载物台可以选用，以对 生产线上生产的75mm、100mm、125mm和150mm的晶圆进行检 查。
晶圆装卸安全、快速，有效提高产能*2
MX61显微镜可搭载选配的晶圆自动搬送机，以将硅晶圆和化合物半导体晶圆从晶圆匣搬送至显微镜载物台，无需再使用镊子夹持。世界公认的 出色性能和可靠性，能够安全、高效地对晶圆正面和背面进行宏观检查和微观检查，可有效提高工厂的产量和生产率。而且这款显微镜的设计符 合人体工程学原理，使用起来舒适、便捷。
MX61 系列——符合人体工程学的设计 使用起来方便、舒适、安全
控制器设计符合人体工程学原理，使用起来更便捷、 更舒适
物镜转换和AS(孔径光阑)调节按钮均位于显微镜的前下方。 这种 设计不仅使用起来更加方便、舒适，而且用户在使用时，无需让手松 开调焦旋钮或将眼睛离开目镜。
离合器驱动式手动XY载物台
有两款高精度载物台可供选用: 一款适合尺寸不超过300mm的晶圆 和17英寸的面板;另一款适合尺寸不超过200mm的晶圆。手动XY载 物台通过内嵌的离合器机构和XY调节手柄，可粗调和微调载物台位 置。使用离合装置，操作员可在观察中自由移动载物台，提高整体效 率。这样，可在使用目镜观察的过程中，不受限制地移动载物台，使 得观察速度更快，
操作更舒适。
通过自动化孔径控制，优化对比度
电动孔径光阑与物镜联锁，可根据所使用的物镜自动调节。这样，在 各个放大倍率下均可得到最优化的成像质量，使得在常规检查中眼睛 感觉更加舒适，
工作效率更高。
电动式物镜转盘提高观察速度
电动式物镜转盘比手动式物镜速度更快、更安全，可在满足无尘室要 求的同时，缩短检查所需时间。 奥林巴斯根据您所需的检查方法，为 您提供了三种控制方法，
通过软件控制、机身按钮
控制或通过独立的手持控 制器控制。
灵活的观察姿势
不断调节椅子高度进行观察和不自然的观察姿势是导致工作速度减慢 的诸多不便因素中的两种。 考虑到这一点，MX61系列显微镜采用了 可调倾斜角度式观察筒，镜筒可在0°至 42°范围内调节(可调高度 :150 mm)。 这样，不管身高如何，操作员都可找到自己舒适的 姿势，而且可以站着观察。此外，光轴与目镜之间有足够长的距离， 即使是大规格载物台，也可轻松操作。
易于切换不同的观察方法
MX61/MX61L系列显微镜的明视场和暗视场观察模式可通过一个拉 杆快速切换，同时还带有一个选配的分光镜组件。此外，MPLFLN- 明视场和暗视场系列物镜在DIC观察下，无需进行棱镜位置切换。透 射光照明单元可加装到这两款显微镜的机身，以能够在FPD检查所需 的透射照明中，进行偏振光观察。
MX61 系列显微镜——优异的成像清晰度与高分辨率 光学元件专门针对您的特定用途设计
先进的光学性能，满足缺陷检测需求
奥林巴斯先进的UIS2光学系统可为常规检查提供高衬度的明视场图 像，此外，在暗视场观察中，能够快速发现之前明视场检查中可能被 忽略的细小划痕。
专用物镜
奥林巴斯有两个系列的物镜(LMPLFLN系列和SLMPLN系列)适合 焦面与物镜之间需保持较大距离的观测情况，通常适合观测高度形状 不规则、结构精密的样品。此外，奥林巴斯还可为您提供用于各种专 业用途的物镜，例如，LCD检查物镜(LCPLFLN-LCD系列)。
可针对样品不同表面状态的各种微分干涉观察法， 提高缺陷检查效果
操作人员可根据样品的表面不平整度和反光特性，选择三种不同的 DIC棱镜，即标准棱镜、高分辨率棱镜和高对比度棱镜。因此，得到 的图像可具有最佳的对比度和分辨率，大大提高缺陷检测能力。
荧光观察
MX61系列显微镜通过加载分光镜组件和高强度光源，还可进行荧光 观察。 荧光观察是检查各种光刻残留物和有机颗粒的理想方法。
同时使用反射照明和透射照明
在光掩膜或FPD检查时，透射光可加入通用型聚光镜或高数值孔径聚 光镜。这两种方法都支持简易偏振光法。此外，可同时使用反射光照 明和透射光照明系统，且两者的照明强度可以独立调节。这种组合非 常适合检查半透明的器件。
近红外(IR)观察
奥林巴斯的专用物镜可对硅和玻璃表面下方的特性和缺陷进行近红外 (IR)成像。半导体和光伏行业采用这种近红外成像功能，可进行对准 检查、表面下方的污染物鉴别及进行关键尺寸检查。这些物镜具有更 高的数值孔径，能够提高近红外图像的分辨率和亮度。此外，20x、 50x和100x 物镜设计有一个校正环，能够校正硅片和玻璃厚度导致的 像差，提高整体对比度。(LMPLN-IR系列和LCPLN-IR系列)
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