二手 Hitachi S-9220 特征尺寸扫描电子显微镜 CD-SEM

日立CD-SEM二手现货扫描电镜S-9220适用于8英寸晶圆的监测，CD检测范围0.1~2.0μm，最大吞吐量45wph，放大倍数1000~300,000。

设备尺寸和参数：

主机尺寸: 1200(W)*1930(D)*1850(H) mm, 1850kg

显示单元: 600(W)*1360(D)*1850(H) mm, 320kg

电源：535(W)*870(D)*1800(H) mm, 300kg

冷却水循环器：407(W)*484(D)*880(H) mm, 55kg

翻新要求：

大修主柱

按要求检修主柱，包括清洗抛光枪室和阳极极片，更换聚光镜孔径，清洗聚光镜极片，清洗物镜极片，更换O型圈。

更换新枪灯丝和透镜光圈。

验证高压电源的工作情况。

修复二次电子探测器。

烘烤主柱并抽真空，以验证其符合OEM规范。

检查晶圆处理器和X/Y级的操作。

润滑所有运动部件。

检查所有测量功能并重新校准。