二手 日本电子 JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜 SEM

JSM-7800F Prime采用新开发的超高分辨率GBSH模式，达到了世界zui高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪，将zui大探针电流从200nA提高到了500nA。

利用GBSH(GENTLE BEAM SUPER HIGH RESOLUTION)观察样品表面

以前的GB※模式经过改进后，可以对样品施加更高的电压，这样在低加速电压下也能获得超高分辨率的图像。从样品的浅表面观察到纳米尺寸的元素分析，GBSH能根据各种不同的应用选择加速电压。※Gentle Beam(GB) 通过给样品加以偏压(GB)，对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。

过GENTLE BEAM （即柔和光束GB模式）观察样品的浅表面

给样品加以偏压(GB)，对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低，也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式，用数十电子伏能量的入射电子束，就可以进行更高分辨率的观察。

通过多个检测器获取样品的所有信息

JSM-7800F配有四种检测器：高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同，二次电子和背散射电子的数量会改变，因此可以选择电子的能量，USD检测被过滤器弹回的低能量电子，BED通过检测低角度的背散射电子，能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。

应用实例

JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL)，由于减少了色差及球差，极大地提高了低加速电压下的分辨率。此外，SHL不会对样品形成磁场影响，因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。