企业性质授权代理商
入驻年限第3年
日立S4800扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计,却能达到超高分辨率,可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美。
特点:
1. 新型物镜采用的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯
二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压时保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选:I型50mm x 50mm小样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。
4. 包括涡轮分子泵在内的先进的真空系统。
5. 便于用户使用的、基于图形用户界面的控制系统,包含多种自动功能,操作简易
性能指标:
二次电子分辨率 | 1.0nm (15kV) 2.0nm (1 kV) 1.4nm (1 kV,减速模式) |
电子枪 | 冷场发射电子源 |
加速电压 | 0.5~30kV(0.1KV/步,可变) |
放大倍率 | x 20~ x 800,000 |
物镜光阑 | 4孔,真空外选择和调校(内置加热器) |
检测器 | 二次电子检测器 (高位/低位) 背散射电子检测器(可选) EDX(可选) 透射电子检测器(可选) 法拉第杯(可选) |
样品台 | l型: X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5°~70°R:360° 驱动:手动(可选3轴/5轴马达驱动) ll型: X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm Z: 1.5 ~40 mm T: -5°~ 70° R: 360°驱动: 5轴马达驱动 |
操作/显示 | 操作系统: WindowsTM XP |
图像储存 | 640 x 480, 1,280 x 960, 2,560 x 1,920,5,120 x 3,840 |
图像编辑 图像文件格式 | 内置图像处理软件和图像编辑软件 BMP, TIFF, JPEG |
扫描速度 | TV/慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察 慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录 |
自动数据记录 | 胶卷号,加速电压,微米标尺,放大 倍率,日期,时间,工作距离 |
电子图像移动 | ±12µm ( W.D. = 8 mm) |
真空系统 | 自动调节 离子泵 3 台 涡轮分子泵(磁浮型) 1 台 机械泵 1 台 |