瑞奇精密 RQC-2S 全自动磁控离子溅射仪

RQC-2S全自动磁控离子溅射仪

• Ø  靶材后有永磁铁

• Ø  靶材上施加电压为-400 ~ -600V，样品台接地

• Ø  绝大部分电子和负离子在电场和磁场的共同作用下，做螺旋线运动，

   单个电子电离的气体分子大大多于直流，因此，在较好的真空、较  低的电压下即可获得较大的电流;

• Ø  在磁场在作用下，绝大部分电子和部分负离子落在靶材附近，无法 到达样品台，对样品基本没有热损伤