型号 | IM-7500 |
类型 | 控制器 |
拍摄元件 | 1 型 660 万像素 黑白 CMOS |
显示器 | 10.4 型 LCD 显示器(XGA:1024 × 768) |
受光镜头 | 双远心镜头 |
图像测量 | 视野 | 广视野测量模式 | IM-7010: 200×200 mm(4 角 R50) IM-7020: 200×200 mm(4 角 R50) IM-7030: 300×200 mm(4 角 R50) |
高精度测量模式 | IM-7010: 125×125 mm IM-7020: 125×125 mm IM-7030: 225×125 mm |
最小显示单位 | 0.1 µm |
重复精度 | 广视野测量模式 | 座标台未移动 | ±1 µm |
座标台移动 | ±2 µm |
高精度测量模式 | 座标台未移动 | ±0.5 µm |
座标台移动 | ±1.5 µm |
测量精度 ±2σ | 广视野测量模式 | 无连接 | ±5 µm*1 |
有连接 | IM-7010/IM-7020: ±(7+0.02 L) µm*2 IM-7030: ±(7+0.02 L) µm*3 |
高精度测量模式 | 无连接 | ±2 µm*4 |
有连接 | IM-7010/IM-7020: ±(4+0.02 L) µm*5 IM-7030: ±(4+0.02 L) µm*6 |
动态光探头测量 | 可测量范围(XY) | IM-7010: - IM-7020: 90×90 mm IM-7030: 190×90 mm |
ZD测量深度 | IM-7010: - IM-7020: 30 mm IM-7030: 30 mm |
动态光探头直径 | IM-7010: - IM-7020: ø3 mm IM-7030: ø3 mm |
测量力 | IM-7010: - IM-7020: 0.015 N IM-7030: 0.015 N |
重复精度 | IM-7010: - IM-7020: ±2 µm*7 IM-7030: ±2 µm*7 |
测量精度 | IM-7010: - IM-7020: ±(8+0.02 L) µm*8 IM-7030: ±(8+0.02 L) µm*9 |
外部遥控输入 | 无源触点输入(有接点/无接点) |
外部输出 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMos 输出 额定负载 24 VDC 0.5 A ON 电阻 50 mΩ以下 |
接口 | LAN | RJ-45(10 BASE-T/100 BASE-TX/1000 BASE-T) |
USB3.1 | 4 组(背面:4 组) |
USB2.0 系列A | 2 组(正面:2 组) |
存储 | 硬盘驱动器 | 500 GB |
照明系统 | 透过 | 远心透过照明 |
落射 | IM-7010: 4 分割环状照明 IM-7020: 4 分割多角度照明(电动)、环状(指向性)照明(电动) IM-7030: 4 分割多角度照明(电动)、环状(指向性)照明(电动) |
XY 座标台 | 移动范围 | IM-7010: 100×100 mm(电动) IM-7020: 100×100 mm(电动) IM-7030: 200×100 mm(电动) |
承受负重 | IM-7010: 5 kg IM-7020: 5 kg IM-7030: 7.5 kg |
Z 座标台 | 移动范围 | 75 mm(电动) |
电源 | 电源电压 | 100 至 240 VAC 50/60 Hz |
消耗电流 | 430 VA 以下 |
环境抗耐性 | 环境温度 | +10 至 35℃ |
相对湿度 | 20 至 80%RH(无凝结) |
重量 | 控制器: 约 8 k 测量头: 约 30 kg (IM-7010)、约 31 kg (IM-7020)、约 33 kg (IM-7030) |
*1 在 ø80 mm 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23±1℃的情况下 *2 在 180×180 mm( 4 角 R40) 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23±1℃、座标台载重 2 kg 以下时,L 为座标台移动量( mm) *3 在 280×180 mm( 4 角 R40) 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23±1℃、座标台载重 3 kg 以下时,L 为座标台移动量( mm) *4 在 ø20 mm 范围内、于调焦点位置、环境温度 +23±1℃的情况下 *5 在 120×120 mm 范围内,于调焦点位置、环境温度 +23±1℃、座标台载重 2 kg 以下时,L 为座标台移动量 (mm) *6 在 220×120 mm 范围内,于调焦点位置、环境温度 +23±1℃、座标台载重 3 kg 以下时,L 为座标台移动量 (mm) *7 采用标准检测方法或采用适用于较深位置的检测方法时为 ±3 µm *8 采用标准检测方法、环境温度 +23℃±1℃、座标台载重 2 kg 以下时,采用适用于较深位置的检测方法时为 ±(10+0.02 L) µm,L 为测量长度 (mm) *9 采用标准检测方法、环境温度 +23℃±1℃、座标台载重 3 kg 以下时,采用适用于较深位置的检测方法时为 ±(10+0.02 L) µm,L 为测量长度 (mm) |