SMEE 600系列光刻机 —— IC前道制造

产品介绍：

SMEE 600系列光刻机 —— IC前道制造

SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。

主要技术参数