半柜式清洗机

VTC-200-CE半柜式清洗机采用直线导轨控制柱状液流沿 wafer.半径方向来回扫动,同时配备有去离子水淸洗和氮气吹干功能,采用高精度伺服电机控制 wafer的旋转,由七寸全彩触屏进行操作，全不锈钢机柜,耐腐蚀透明观察盖,丝杆直线导轨,不锈钢内腔,设计合理,经久耐用。伺服马达控制旋转速度和时间,自动控制显影、清洗和吹干,显影/清洗均匀性和重复性好。1、不锈钢半柜式设计，触摸屏操作
2、透明观察窗，带排废和抽风功能
3、可移动式直线导轨清洗，行程可定制
4、最多可配备四路清洗或氮气吹干系统
5、可处理ZD基片尺寸为8寸晶圆，向下兼容
6、更大尺寸可定制