无机非金属材料扫描样品SEM的制备流程

无机非金属材料扫描样品的制备流程

1	材料固定	MTI加热平台
2	切割	SYJ-200精密切割机、STX-202A小型金刚石线切割机
3	镶嵌	HXQ-50自动热镶嵌机
4	研磨抛光	UNIPOL-810精密研磨抛光机
5	清洗	PCE-6V小型等离子清洗机
6	溅射	VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪
7	电子显微镜	KYKY-EM8000场发射扫描电子显微镜
8	耗材	金刚石线、外圆切割机用的各类锯片、切割专用油、切割冷却粉、油石、 陶瓷树脂衬垫、石蜡、砂纸、金刚石磨片、树脂基金刚石磨片、 研磨纸、研抛底片、磨料、抛光垫、抛光液、抛光膏、磁力橡胶、 水晶胶、硬性冷镶模、软性冷镶模、弹性样品夹（冷镶嵌）、靶材

样品要求：试样经切割和磨抛处理成适宜扫描电镜观察的大小后还应进行喷金或蒸碳处理，使其导电。

切割设备：沈阳科晶自动化设备有限公司生产适用于无机非金属材料切割的的金刚石线切割机的型号有STX-202A、STX-1202A、STX-202AQ、STX-603 、STX-2401、STX-402、STX-2017种。外圆切割机的型号有：SYJ-400 、SYJ-200、SYJ-150、SYJ-160、SYJ-800 、 SYJ-50 6种。可根据材料的大小、切割的具体要求选择合适的切割设备。

耗材：金刚石线切割机用的各类直径的金刚石线、外圆切割机用的各类锯片、切割专用油、切割冷却粉、油石。

切割辅助设备：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的MTI-3040和MTI-250加热平台，设备操作简单，温度≤200℃。

耗材：陶瓷树脂衬垫、石蜡

试样的镶嵌：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的适用于无机非金属材料的冷镶嵌机的型号为CXQ-2500。

耗材：水晶胶、硬性冷镶模、软性冷镶模、弹性样品夹（冷镶嵌）

样品的磨抛：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的手动研磨抛光机型号有UNIPOL-820、UNIPOL-830、UNIPOL-1210三种。自动精密研磨抛光机型号有UNIPOL-810、UNIPOL-802、 UNIPOL-1202、 UNIPOL-1502四种。自动压力研磨抛光机型号有UNIPOL-1000D、UNIPOL-1200S、 UNIPOL-1200M、UNIPOL-800M、UNIPOL-1260五种。 及双面研磨抛光机UNIPOL-160D一种。

耗材：砂纸、金刚石磨片、树脂基金刚石磨片、研磨纸、研抛底片、磨料、抛光垫、抛光液、抛光膏、磁力橡胶

样品的清洗：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的超声波清洗机的型号有VGT-1620QTD、VGT-1620TD两种。等离子清洗设备的型号有PCE-6、PCE-8、GSL1100X-PJF、GSL-1100X-PJF-A四种。可根据样品自身的特性选择合适的清洗方法。

样品表面喷金和蒸碳：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪， GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪是电镜实验室喷金和蒸碳常用的ZJ设备。

耗材：靶材

样品观察：将已经导电的试样用导电双面胶粘接到载样台上之后就可以用扫描电子显微镜进行观察了。

以上设备和对应耗材沈阳科晶自动化设备有限公司均有销售。