高精度焦点分析仪 超快、紫外激光微加工对加工精度的要求已经达到了微米尺度,达到甚至小于普通CCD 相机的像素尺寸。小尺度光斑的精密的量需要对光斑进行放大,而在放大过程中需确保放大倍率的定量准确性、放大光路的光学品质等。先锋科技研发的精密焦点测量仪,集放大、衰减、光斑分析为一体,放大倍率经过准确定标,提供便利使用的紧凑型、一体式微米尺度焦斑分析功能。
焦斑分析仪充分考虑微加工激光的参数和微加工现场的光路结构,整合激光输入准直基准,激光衰减模块,高倍率、高保真、高损伤阈值放大光路,以及高分辨率专业光斑分析仪。用户只需将整体设备放置到场镜/ 聚焦透镜下,简单对准即可对加工激光的焦点光斑进行完整分析, 而无需搭建繁琐的光路。系统采用紧凑型整体式设计,方便移动,可用于多个机台灵活测试。
根据不同的应用场景,焦斑分析仪分为常规FSA 系列、组合式FSA-M 系列、折叠光路FSA-F 系列三个系列,10x、20x 两种放大倍率和UV、VIS、NIR 三种波段范围产品。其中:
• FSA 系列:标准光路,一体式设计,两级分束反射式衰减;
• FSA-M 系列:模块式,两级可拆卸分束模块,可拆卸光斑分析仪;
• FSA-F 系列:折叠光路,长度较短,适应空间限制场合。
高精度焦点分析仪主要特点: • 免调试固定光路,入口准直基准,即插即用;
• 10x - 20x 放大,适用不同尺度的焦斑;
• 专用高功率镜头,确保系统安全;
• 一维、二维彩色、三维直观显示焦斑形貌,优劣一眼知;
• 放大倍率经过校准,软件直读焦斑尺寸;完整的光斑参数计算功能:直径、中心、ZX、椭圆度、高斯拟合等;
• 功率/ 能量密度计算;
• 焦点位置漂移与稳定性测试。