相机式光束分析仪采用二维阵列光电传感器，直接将辐照在传感器上的光斑分布转换成图像，传输至电脑并进行分析。相机式光斑分析仪是目前使用*多的光斑分析仪，可以测试连续激光、脉冲激光、单个脉冲激光，可实时监控激光光斑的变化。 完整的光束分析系统由三部分构成：
• 相机。
相机确定了可测量的波长范围：硅基CCD 相机通常为190nm ~ 1100nm；InGaAs 面阵相机通常为900 ~ 1700nm；热释电面阵相机则可覆盖13 ~ 355nm 及1.06 ~ 3000μm。相机的芯片尺寸决定了能够测量的光斑的*大尺寸，而像素尺寸则决定了能够测量的*小光斑尺寸；通常需要10 个像素体现一个光斑完整的信息。
• 光束分析软件。
软件除了采集数据并按照各种数学模型进行分析计算外，更为重要的是确保光束分析计量的准确性。Spricon 公司采用Ultra CALTM 技术扣除相机的起伏背景，确保在各种强度下得到的光斑都具备定量准确性；丰富的光斑识别、手动及自动选区功能，避免光斑品质计算中引入过大误差甚至出现伪结果：例如对多模（多瓣）光束的自动分析。
• 附件。
几乎所有的激光器的强度都超过相机的饱和强度甚至损伤阈值，高品质的衰减附件可确保在保持光束品质的情况下衰减强度；扩束、缩束、放大、投影成像等高品质成像系统使得尺寸一定的传感器可以适应不同的光斑。
硅基CCD 相机
主要特点 • 相应灵敏度高
• 不同感光面尺寸可供选择
• USB2.0/USB3.0/ Gigbit Ethernet 三种接口方式
• C-Mount 接口，可选择衰减片、分光片等多种附件
主要应用领域 • 半导体激光器
• HeNe 激光器
• 紫外激光加工设备等
| 相机型号 | SP920s SP920G LT665 L11059 |
| 波长范围 | 190-1100nm 190-1100nm 190-1100nm 190-1100nm |
| 芯片尺寸 | 7.1mm×5.3mm 12.5×10mm 35mm×24mm |
| 像元大小 | 4.41-m×4.41-m 4.541-m×4.541-m 9.01-m×9.01-m |
| 分辨率 | 1624×1224 1624×1224 2752×2192 4008×2672 |
| 动态范围 | 60 dB 61 dB 54 dB 59 dB |
| 灵敏度 | 1nW/cm2 1.2nW/cm2 0.3nW/cm2 0.17nW/cm2 |
| 损伤阈值 | 50W/cm2、0.1J/cm2（< 100ns） 0.15mw/cm2 |
| 软件配置 | BeamGage |
| 接口方式 特点 | USB3.0 GigE Ethernet USB3.0 USB2.0 通用 / 高动态 高动态范围 / 范围 GigaE 大面阵 / 高分辨率 超大面阵 |
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