企业性质生产商
入驻年限第3年
增益介质 | ArF |
波长 (nm) | 193 |
高压开关技术 | 固态开关 |
ZG脉冲能量 (mJ) | 12 |
能量稳定选项输出 (mJ) | 10 |
脉冲宽度 (ns) | 5 |
光束尺寸 (mm) | 4×6 |
光束发散角 (mrad) | 1×2 |
能量稳定性 (rms) | 3% |
外形尺寸 (mm, L×W×H) | 540×470×300 |