企业性质生产商
入驻年限第3年
增益介质 | ArF |
| KrF |
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波长 (nm) | 193 |
| 248 |
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高压开关技术 | 固态开关 | |||
ZG脉冲能量 (mJ) | 10 |
| 15 |
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ZG平均功率 (W) | 2.4 | 4.0 | 4 | 6 |
ZG重频 (Hz) | 300 | 500 | 300 | 500 |
脉冲宽度 (ns) | 5 - 8 | |||
光束尺寸 (mm) | 4×6 | |||
光束发散角 (mrad) | 1×2 | |||
能量稳定性 (rms) | 3% | |||
外形尺寸 (mm, L×W×H) | 630×400×300 |