Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器

Horiba SEC-E440J金属密封质量流量控制器 

硅烷、氨气，腐蚀气体

畅销型号：SEC-E440J，NH3，7SLM；SEC-E440J，SiH4，500sccm

产品概述

  本产品为日本原装，金属密封，专用于如硅烷、氨气、SF6等腐蚀性气体的应用。

   产品已经停产，替代品为N100系列。

 SEC-E440J金属密封质量流量计，主要应用于太阳能PECVD设备中，又称氨气流量计，硅烷流量计。

产品特点

电磁控制阀金属密封质量流量控制器 可用于腐蚀性干燥气体
金属密封;
电磁控制阀;
可优化响应时间;
自动归零功能;
集成报警功能;
阀电压检测功能;
电磁控制阀可完全关闭;

产品主要参
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢，PTFE(聚四氟乙烯)
精度：<±1.0% F.S.
线性度：<± 0.5% F.S. 
重复性：<± 0.2% F.S.
流量控制范围：2 ~ 100% F.S.
响应速度：< 1秒

满量程流量
SEC-E440J: 10sccm ~ 10slpm
SEC-E450J: 20/30slpm