二手ZEISS SUPRA 25扫描电子显微镜

肖特基热场发射电镜与冷场发射电镜相比具有一定的优势。ZEISS 场发射扫描电镜主要有如下特点：

1．探针电流较大，可达10nA（20nA可选），可容易进行 BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。而一般冷场发射探针电流达不到这个数量级，有些分析工作（如WDS、EBSD、CL等）在冷场电镜上难以进行。

2．电子束噪声较小，＜1％。

3．束流稳定度高，优于0.2％／h，适宜于长时间的各种精确分析。

上述两项指标其它厂家均未给出。在理论上冷场发射比热场发射要差一个数量级。

4．所需的工作真空度（包括电子枪真空度和样品室真空度）较低，对环境、样品要求不高。而冷场发射电镜的真空度比热场要高2个数量级，真空系统复杂，如样品不清洁、有挥发、放气等情况，抽真空较困难。

5．维护简便，且工作稳定。冷场电镜每天都需要Flash（阴极还原），且发射电流不稳定，使用维护麻烦。而热场电镜无此麻烦。

6．分辨率较高。ZEISS场发射电镜由于其独特的镜筒设计（GEMINI镜筒），具有优越的性能，扫描电镜分辨率可达1nm，不比冷场发射电镜差。

7．ZEISS 场发射电镜具有极好的低加速电压性能，加速电压可达100V，且在100V时具有较高的分辨率，优于其它品牌。

8．超大样品室、全部坐标马达驱动样品台及较大的移动范围，为使用提供了极大的方便。

9．抽屉式样品室拉门，方使样品更换及大样品、形状复杂样品的观察。而冷场扫描电镜由于要求的真空度较高，不宜破坏样品室的真空，一般用“样品交换气锁”来更换样品，操作麻烦，且进出样品的尺寸、形状受限。

10．真空系统全自动控制，不需人工干预。

11．独特的环形In—lens二次电子探测器，探测效率高、圆周对称。而其它厂家的In—lens 探测器安装在一侧，且结构复杂。

12．ZEISS 热场扫描的有些型号具有独特的VP（可变压力）工作方式，压力范围2～133Pa。冷场发射电镜一般没有可变压力（低真空）工作方式。

13．采用电磁、静电复合式物镜，杂散磁场小，可对铁磁体样品进行高分辨率成像。

14．末级光栏采用多孔光栏结构，用电磁方式进行更换和对中调整，操作方便。镜筒上无需用户调整的部件。

15．德国制造，设计先进，工艺考究。物镜、分子泵、电路板散热器件均用水冷，冷却水恒温，大大增强了稳定性、可靠性和可重复性。