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IG2型离子源

科睿设备有限公司

企业性质生产商

入驻年限第5年

营业执照已审核
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※ 广泛应用于微电子、半导体、材料等领域;一般应用在溅 射清洗 /表面准备、表面科学、MBE 、高真空溅射过程 中。 

※ 典型应用是氩离子溅射清洗表面。 

※ 离子束辅助沉积。 

※ 离子束溅射清洗。 

※ 反应离子刻蚀。

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