ZetaScan

产品介绍

ZetaScan为显示器和太阳能应用提供高产量面板检测，其中包括玻璃上表面和下表面的颗粒、凹坑、凸起、划痕、嵌入缺陷，以及GaAs上的薄膜缺陷。宏观与微观缺陷的分类结合了光学特征和缺陷属性。ZetaScan检测系统的高灵敏度提供了一种经济高效的解决方案，适用于工艺开发和大批量制造工艺监控。

主要功能

• 检测玻璃晶圆和面板上的缺陷

• 手动最 大支持Gen2尺寸的面板，厚度为最 大支持2.5mm的样品

• 侦测颗粒、划痕、凹坑、凸起、污渍和其他表面缺陷

应用案例

• 衬底质量控制

• 衬底供应商比较

• 入厂晶圆质量控制 (IQC)

• 出厂晶圆质量控制 (OQC)

• CMP（化学机械抛光工艺）/抛光工艺控制

• 晶圆清洗工艺控制

• 外延工艺控制

• 衬底与外延相关分析

• 外延反应设备供应商比较

• 工艺设备监控