XUV多层膜宽带反射镜

Mo/Si多层反射镜具有接近13纳米（90电子伏）波长的高反射率。NTT-AT公司的Mo/Si多层反射镜具有高达70％的正入射反射率。

NTT-AT公司的XUV反射镜的材料、膜结构和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长和光学装置的需求。

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