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HORIBA 真空紫外光谱仪 PGS/PGM 1000

HORIBA 科学仪器事业部

企业性质

入驻年限第3年

营业执照
同类产品光栅光谱仪(单色仪)(24件)
HORIBA 真空紫外光谱仪 PGS/PGM 1000 核心参数
仪器结构: 双波长
接收器: CCD
波长范围: 真空紫外
自动化: 自动波长


PGS/PGM 1000真空紫外光谱仪产品简介
PGS/PGM 1000光谱仪凭借优异的消像差设计,可实现一机两用,配合单通道探测器作为单色仪,配合CCD使用作为摄谱仪。光路由一片消像差平面光栅和一片超环面镜组成,为紫外光谱分析优化设计。掠入射光路设计将可探测波长拓展到软X射线,与此同时,摄谱仪模式下焦平面垂直于出射光轴,使CCD上接受的光通量Z大化。

产品简介

PGS/PGM 1000光谱仪凭借优异的消像差设计,可实现一机两用,配合单通道探测器作为单色仪,配合CCD使用作为摄谱仪。光路由一片消像差平面光栅和一片超环面镜组成,为紫外光谱分析优化设计。掠入射光路设计将可探测波长拓展到软X射线,与此同时,摄谱仪模式下焦平面垂直于出射光轴,使CCD上接受的光通量zui大化。
 
技术特点
    HJY的消像差平面光栅结合超环面镜,同时兼顾高分辨率和低像差。
    在轴设计,光路易准直。
    出射光直射CCD表面,光通量大。
    只需更换出射狭缝和法兰,即可实现单色仪和摄谱仪之间的切换,一机两用。
    支持超高真空10-9mbar,可接入同步辐射装置。
    光谱范围覆盖到4nm,4-16nm具有超高分辨率


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典型应用
     紫外可调滤波/光源
    激光高次谐波
    等离子体物理研究
    X射线光电子能谱
    EUV光源表征

技术指标

三块标准光栅可选

54403130

(仅提供母光栅)

3600gr/mm 光栅,

光谱范围:4-16nm (77-310 eV)

出射端线色散: 0.2-0.5nm/mm

平均分辨率: 0.05nm

54402130

1800gr/mm 光栅,

摄谱仪模式下

光谱范围:8-32nm(39-155eV) 或 7-32.5nm

出射端线色散:0.04-0.1nm/mm

平均分辨率:0.1nm

54401130

550gr/mm 光栅,

摄谱仪模式下

光谱范围:30-125nm (10-41eV)

或26-126nm

出射端线色散:0.08-0.3nm/mm

平均分辨率:0.3nm

光学设计

HJY平面光栅加超环面镜光路设计

焦长

1000 mm

孔径

f/48

分辨率

低至0.02nm

波长驱动

步进电机,USB2.0接口

高真空

10-6 mbar

真空泵法兰

DN63 LF

狭缝

测微狭缝

阵列探测器法兰

DN100CF/ICF152

可选项:

狭缝

固定或内置可切换狭缝

超高真空

10-9 mbar配备DN100CF

真空泵法兰和DN40CF真空计法兰


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附件
    前镜腔,配备两块超环面镜,实现光源和单色仪之间的光学匹配
    后镜腔,配备两块超环面镜,实现单色仪和样品室之间的光学匹配
    样品室,可搭载4块直径不大于25mm的样品
    偏振插片
    制冷机,zui低至4K

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