DukePD-047SURF-CAL尺度标准微粒
NIST可溯源尺度标准,用于需要高度视觉反差的尺度标定和参考应用领域。SUR-CAL为各种硅晶片的表面性状的检测和标定提供了便利的工具。产品的粒径复合仪器厂家所需的各种规格。SURF-CAL系列产品完全符合SEMI行业协会的建立的SSIS标定指导准则,微粒粒径纵贯0.047到3.0微米的范围,覆盖了国际半导体技术蓝图(ITRS)所定义的关键质控点。通过将SUR-CAL聚苯乙烯乳胶微粒沉积在特定的硅晶片(PSL)表面,用户可以对扫描仪进行周期性标定,并可与其它的扫描仪进行对比。用户还可以对生产环节中关键阶段SSIS的性能做出评估。产品包装为50ml,微粒分散于超净过滤去离子水中,微粒浓度3x108/ml。PD1100(粒径1.112μm)和小于这一粒径的产品还提供1010/ml的产品包装规格以满足需要使用差别移动粒子分析仪(DMA)和其它尺寸排除技术粒子分析仪器的客户需求。
尺度测量方法学:
为了确保与NIST的直接可溯源性,产品的粒径是直接从NIST提供的标准参考微粒通过电子显微镜或光学显微镜的测量中直接转化而成的。尺度的不确定性是依照NIST技术笔记1297方法(1994年版“NIST测量结果不确定性评估指导方案”)计算得到的。产品中所描述的不确定性为扩大性不确定因素,覆盖因子数为2(K=2)。
微粒组成: |
聚苯乙烯 |
微粒密度: |
1.05g/cm3 |
微粒数量: |
3x108or1010颗/毫升 |
包装规格: |
50ml瓶装,每盒6瓶 |
微粒折射率: |
1.59@589nm(25°C) |
添加剂: |
无 |
产品保质期: |
≥2年 |
存储条件: |
冰箱储藏(冰点以上)防止冰冻,紧闭瓶盖防止污染 |
包装内容 |
标定与溯源证书、粒子计数拟定程序、原料安全数据表(MSDS) |
CatalogNumber
(particlespermL) |
Certified
Peak
Diameter |
Expanded
Uncertainty
(ofpeakdiameter) |
SizeDistribution |
3x108 |
1010 |
|
|
Std.Dev. |
C.V.% |
FWHM%* |
PD-047 |
PD-047B |
0.047m |
0.002m |
0.004m |
7.5% |
17.4% |
PD-064 |
PD-064B |
0.064m |
0.002m |
0.003m |
5.4% |
10.9% |
PD-083 |
PD-083B |
0.083m |
0.002m |
0.004m |
4.2% |
9.6% |
PD-092 |
PD-092B |
0.092m |
0.005m |
0.004m |
4.6% |
9.1% |
PD-100 |
PD-100B |
0.100m |
0.005m |
0.004m |
2.6% |
5.2% |
PD-125 |
PD-125B |
0.126m |
0.006m |
0.003m |
2.4% |
4.8% |
PD-155 |
PD-155B |
0.155m |
0.003m |
0.003m |
1.6% |
3.7% |
PD-200 |
PD-200B |
0.202m |
0.005m |
0.004m |
1.8% |
4.0% |
PD-204 |
PD-204B |
0.204m |
0.008m |
0.004m |
1.8% |
3.7% |
PD-215 |
PD-215B |
0.220m |
0.007m |
0.003m |
1.6% |
3.3% |
PD-305 |
PD-305B |
0.304m |
0.005m |
0.004m |
1.4% |
3.4% |
PD-365 |
PD-365B |
0.360m |
0.013m |
0.010m |
2.0% |
5.0% |
PD-500 |
PD-500B |
0.498m |
0.010m |
0.006m |
1.1% |
2.5% |
PD-800 |
PD-800B |
0.809m |
0.014m |
0.006m |
0.8% |
1.8% |
PD-802 |
PD-802B |
0.802m |
0.011m |
0.009m |
1.1% |
2.4% |
PD1100 |
PD1100B |
1.112m |
0.018m |
0.011m |
1.0% |
2.5% |
PD1600 |
|
1.59m |
0.02m |
0.016m |
1.0% |
2.6% |
PD2000 |
|
2.01m |
0.04m |
0.019m |
1.0% |
3.3% |
PD3000 |
|
3.04m |
0.06m |
0.026m |
0.9% |
2.7% |
杜克标准粒子热电粒子热电标准粒子thermo粒子thermo标准粒子赛默粒子赛默标准粒子飞世尔粒子飞世尔标准粒子fisher粒子fisher标准粒子(Dukethermofisher)美国Duke杜克标准粒子Duke标准粒子聚苯乙烯DUKE标准粒子/粒准乳胶球粒子/聚苯乙烯/标准微粒/微粒子/Duke粒子液体颗粒计数仪用Duke杜克3000系列20-900nm产品描述:Duke杜克标准粒子微粒3000系列-聚苯乙烯纳米微粒20-900nm仪器介绍Duke科学Duke杜克标准粒子微粒SURF-CAL用于半导体晶片扫描,0.047-3um美国Duke杜克标准粒子3000系列-纳米尺寸标准粒子(15mL包装,1%固体含量)Duke标准粒子STANDARDS-COUNT-CAL系列Duke标准粒子挑战性标准粒子STANDARDS-EZY-Cal系列(2-70um)标准颗粒标准物质DUKE粒子标准粒子杜克粒子美国杜克NIST粒子NIST标准物质可溯源粒子可溯源物质可溯源粒子进口粒子Duke金属和矿物粒子和微球DukeFluoro-Max绿色和红色干粉状荧光微球DukeFluoro-Max荧光标记粒子-绿色DUKEHEPA-CHECK过滤膜挑战微粒DukeOptiBind聚苯乙烯(PS)微粒DukeOptiLink羧基修饰聚苯乙烯微粒DukePHARM-TRO计数标准系列DukePower-Bind链霉亲和素微粒DukeSera-Mag磁性微珠DukeSmoke-CheckDukeValidex计数精度尺度标准微粒Duke粒子计数器标准3K,4K系列Duke球形玻璃材料Duke8000系列硅微球尺寸标准粒子Duke9000系列玻璃微球尺寸标准粒子DukeChromoSphere-T彩色尺度标准微粒DukeColor-Rich染色羧基修饰微球DukeCOUNT-CAL标准颗粒DukeCyto-CalAbsoluteCountControl计数质控微粒DukeCyto-CalAlignment光路排序校正微粒DukeCyto-CalAmineModifiedParticle微粒DukeEZY-CAL粒径标准系列DukeFluoro-MaxFluorescentParticleCarboxylatemodifiedandStreptavidincoatedEuropiumChelateParticleDuke5000系列聚合物微粒悬浮液Duke2000系列均匀尺度聚合物标准粒子DukeCyto-CalCarbonxylatedParticle低强度验证微粒DukeCyto-CalMultifluo+VioletIntensityCalibrator多荧光强度校正微粒Clintex标准粒子DukeDRI-CAL系列干粉标准粒子欧共体标准物质局(BCR)认证石英参考颗粒Duke3000系列纳米级尺度标准粒子DukeChromoSphere彩色显色微球-干粉Duke花粉和孢子非高分子聚合物微粒球形植物孢粒和花粉DukeFluoro-Max水相悬浮绿色红色蓝色荧光微球Duke7000系列共聚物微粒悬浮液DukeSURF-CAL尺度标准微粒Duke4000系列聚合物微球尺寸标准粒子DukeEZY-CAL粒径标准系列