紫外线透过滤镜

用于液晶曝光设备匀光照射的复眼透镜（透镜阵列）。

过去的主流是由石英玻璃等以阵列方式粘合成复眼透镜。五铃使用模造方式制作复眼透

镜来代替粘合方式，优势是可以通过模制一次形成阵列。

最初此方式使用普通玻璃（白板玻璃等），但由于需要使短波透过来提高效率，五铃开

发出短波透过可模造玻璃“IHU250H”，已被多家曝光设备制造商采用，可实现切割，研

磨或粘合工程无法对应的形状。

可应用于分析仪器。这是因为样品容易受到深紫外光的影响，因此使用此滤镜截断短波

紫外，使用透过域的紫外光进行分析。

形状多样，在紫外领域用途广泛。对应材料采购。

与传统石英玻璃相比，其形状自由度更高，加工更容易。

此外，由于膨胀系数与金属接近，因此具有金属化过程中不易发生剥离的特点。