俄罗斯Optosystem CL7000 准分子激光器

型号

ArF

KrF

XeCl

波长

193 nm

248 nm

308 nm

管材料

陶瓷

预电离

火花

标准脉冲能量

250 mJ

400 mJ

300 mJ

平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100

5 W
10 W
20 W

8 W
20 W
35 W

6 W
15 W
25 W

ZD重复频率
CL 7020
CL 7050
CL 7100

20 Hz
50 Hz
100 Hz

脉宽

17 ns

20 ns

20 ns

脉冲稳定度

sigma < 2%

光斑大小

6 x 20 mm

6 x 21 mm

7 x 22 mm

光束发散角

1.5 x 4.5 mrad

时间抖动

< 2 ns

尺寸, (重量)

1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

冷却
CL 7020
CL 7050
CL 7100

风冷
水冷（水流< 1L/min）
水冷（水流< 3L/min）

功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100

220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA

气体

1 premix cylinder

控制接口

RS 232, DOS/Windows