M-SPIN 200 Spin Coater匀胶旋涂仪

M-Spin 200匀胶旋涂仪是用于均匀涂覆和干燥晶圆片或衬底。该匀胶旋涂仪适用于直径ZD为8英寸的晶圆片，或为6英寸 x 6英寸的衬底。它可使用分配臂全自动工作，分配移动托盘，可定义数量。该匀胶旋涂仪配备了顶盖的联锁机制，和可视化全图形触摸面板。M-Spin 200匀胶旋涂仪包含一个内置模块，该模块连接到柔性电缆，外接到一个19英寸外部控件上。