| 项目/模型 | MU100X | MU100XN |
| 泵组成 | MU100X | MU100XN |
| *1 最大泵速50/60Hz[L/min] | 1660 |
| *1 极限压力[Pa] | 1.5 |
| 最大入口压力[Pa] | 大气压力 |
| 最大允许排气压力 | 3 or less |
| Flange Dia. | 进 | NW50 |
| 出 | NW25 |
| 电机额定输出 | 2.2 |
| 加速时间 | 大约10 |
| 减速时间 | 大约5 |
| 冷却水 | 最大压力 | 0.5 MPa (Gauge Pressure) |
必要最小值 (入口-出口) | 0.2 MPa |
| 流量体积 | 1.5 to 3.0 L/min or 更多 |
| 温度 | 10至25摄氏度 |
| Flange Dia | RC 3/8“(带耦合器) |
| *2 氮 | 供应压力 | / | 0.1 |
规则压力 | / | 0.04 |
流量体积 | / | 5SLM[设置时]
0.05MPa（表压）] |
| Flange Dia | / | Pipe fitting 1/4” |
电动力 | 进入动力 | 3PH *3 允许电压变化土 |
电容量 | 3.8千伏安 |
运行电流 | 2.0 to 10.8A |
| 控制 | 最大负载电流 | 1 A/ point |
| 连接器 | DB-25PF-N Japan Aviation Electronics Ind,Ltd. |
| 润滑油 | 类型 | Fluorine oil |
| 体积 [L] | 0.1 |
| Approx. Weight [kg] | 60 |
*1） 在没有吹扫气体的情况下。
*2） 抽真空腐蚀性气体等时需要氮气。
该图为密封和稀释所需的总吹扫体积。
*3） 电压的最大允许波动，而不是正常电压的范围。
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