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桌面式射频真空等离子清洗机

中山市枭射频科技有限公司

企业性质一般经销商

入驻年限第6年

营业执照已审核
同类产品13.56MHz,27.12MHz,40.68MHz(1件)
桌面式射频真空等离子清洗机 核心参数
自动化: 自动
样品腔尺寸: 内径:150mm; 长度:300mm
样品腔容积: 5.3升
射频功率: 0-300W
频率: 13.56MHz

技术参数

产品型号 (RPC-1305)
主要部件部件名称参数指标
控制系统

集成触摸屏

7寸电阻触摸屏

等离子激发

电容耦合式(CCP)

工作时间

0-9999s(任意设定)

真空腔体

腔体容量

5.3L

腔体尺寸

内径:150mm; 长度:300mm

腔体材质

304不锈钢

舱门

铝合金舱门(配不锈钢铰链)

样品支架

铝合金筛板,厚度:3mm

射频源

信号频率

13.56MHz ±0.005%

功率范围

0-100W任意设定(功率等级200W/300W可选)

功率稳定度

±0.1%

匹配器

匹配类型

全自动匹配

匹配时间

≤3s

气路

气体测量

浮子流量计

气体通道

2通道

气体1量程

10~100ml

气体2量程

10~100ml

气路接头

外径:6mm气管

真空

真空测量

集成数显真空计

真空泵类型

双极旋片泵式

抽气速率

2L/s(4L/s可选)

极限真空度

0.067Pa

抽气接口

KF16-不锈钢波纹管

整机

整机功率

1kW

整机总尺寸

580(L) *550(D)* 230(H)mm;(其中拉手+接头:60mm; 防滑底座:10mm)

整机重量

24kg(不含真空泵及配件)

工作电压

220Vac 50/60Hz

工作环境

-10℃ -- 40℃

冷却方式

强制风冷