企业性质一般经销商
入驻年限第6年
自动化: | 自动 |
样品腔尺寸: | 内径:150mm; 长度:300mm |
样品腔容积: | 5.3升 |
射频功率: | 0-300W |
频率: | 13.56MHz |
技术参数
产品型号 (RPC-1305) | ||
主要部件 | 部件名称 | 参数指标 |
控制系统 | 集成触摸屏 | 7寸电阻触摸屏 |
等离子激发 | 电容耦合式(CCP) | |
工作时间 | 0-9999s(任意设定) | |
真空腔体 | 腔体容量 | 5.3L |
腔体尺寸 | 内径:150mm; 长度:300mm | |
腔体材质 | 304不锈钢 | |
舱门 | 铝合金舱门(配不锈钢铰链) | |
样品支架 | 铝合金筛板,厚度:3mm | |
射频源 | 信号频率 | 13.56MHz ±0.005% |
功率范围 | 0-100W任意设定(功率等级200W/300W可选) | |
功率稳定度 | ±0.1% | |
匹配器 | 匹配类型 | 全自动匹配 |
匹配时间 | ≤3s | |
气路 | 气体测量 | 浮子流量计 |
气体通道 | 2通道 | |
气体1量程 | 10~100ml | |
气体2量程 | 10~100ml | |
气路接头 | 外径:6mm气管 | |
真空 | 真空测量 | 集成数显真空计 |
真空泵类型 | 双极旋片泵式 | |
抽气速率 | 2L/s(4L/s可选) | |
极限真空度 | 0.067Pa | |
抽气接口 | KF16-不锈钢波纹管 | |
整机 | 整机功率 | 1kW |
整机总尺寸 | 580(L) *550(D)* 230(H)mm;(其中拉手+接头:60mm; 防滑底座:10mm) | |
整机重量 | 24kg(不含真空泵及配件) | |
工作电压 | 220Vac 50/60Hz | |
工作环境 | -10℃ -- 40℃ | |
冷却方式 | 强制风冷 |