HERZ AVI系列主动消振台/防震台/消震台

AVI系列主动消振台/防震台/消震台

品牌：HERZ

型号：AVI-400S

用途：六轴方向自由度防振台，高负载主动防振台。系统内部反馈回路yi制所有机械共振，低频隔振性能稳定 ，无低频共振、无空气要求!自动调节负载 ，即插即用 ，LCD显示屏实时显示振动情况，多种面板定制选择，AVI-400XL主动防振台主要应用体积大zhong心高精密光学设备，光刻机防振台，半导体检测防震台等。

产品亮点： 

六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)

5-20ms响应时间                                         

低频隔振性能优异,安装和使用简单

系统主动检测输入振动并动态消除

紧凑、模块化的多功能设计

稳定性高，能无故障连续使用多年

无低频共振、无空气要求

应用范围：

超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）

光刻工具

高精度计量工具

光谱仪器

升级选项：

可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数：

型号：AVI-400S/LP

系统配置：独立隔振装置 & 控制装置

主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz

被动隔振范围:大致为200 Hz以上

显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。

LEDs 指示输出阶段的过载情况。

单元尺寸(每个):190 x 396 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

隔振单元重量:  15kg

负载能力:800 kg (同等/低zhong心)

输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗：通常18W

温度范围：5℃ - 40℃

相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室内/室外使用：仅用于室内

隔振效果：

性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。