日本Horiba STEC LF/LV微小液体质量流量计/控制器

全标度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

检测控制范围

5??100% F.S.

对象液体种类 *1

可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。

液体粘度 *2

很大值. 0.1 Pa·s (100cp)

精度 *3

±1% F.S.

直线性 *3

±0.5% F.S.

重复性 *3

±0.5% F.S.

响应精度

3秒以内 (T98)

2秒以内 (T98)

使用环境温度 *4

5??50℃ (15 ?? 45℃精度的确保)

温度影響 Span

±0.1%F.S./℃　很大值±1%

工作差压值值 *5

很大值. 5MPa (视为流量计) / 50??300kPa (with piezo 控制阀)

耐压

10MPa (视为流量计)

压力損失

很大值. 500Pa

流量设定信号

模拟：0.25??5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)

流量输出信号

模拟：0??5 VDC(很小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)

驱动电源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏规格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材质

SUS316L, Ni

标准接头

1/16”， 1/8” SWL类型， 

1/8” VCR 类型

1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型

1/4” SWL类型 

1/4” VCR 类型

全标度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

检测控制范围

5??100% F.S.

对象液体种类 *1

可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。

液体粘度 *2

很大值. 0.01 Pa·s (10cp)

精度 *3

±1% F.S.

直线性 *3

±0.5% F.S.

重复性 *3

±0.5% F.S.

响应精度

3秒以内 (T98)

2秒以内 (T98)

使用环境温度 *4

5??50℃ (15 ?? 45℃精度的确保)

温度影响Span

±0.1%F.S./℃　很大值±1%

工作差压值 *5

0.05??0.3MPa

耐压

1MPa

压力损失

ー

流量设定信号

模拟：0.25??5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议)

流量输出信号

模拟：0??5 VDC(很小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)

驱动电源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏规格

PO 类型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 类型： 5×10-12Pa•m3/s (He)

接液部材质

PO 类型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA　MO 类型： SUS316L，Ni

标准接头

1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型

1/8 SWL类型，

 1/8”VCR 类型

1/4” SWL类型

1/4” VCR 类型