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日本日立 HD-2700球差校正扫描透射电子显微镜

日立科学仪器(北京)有限公司

企业性质生产商

入驻年限第7年

营业执照已审核
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日本日立 HD-2700球差校正扫描透射电子显微镜 核心参数
电子枪: 钨灯丝

产品介绍:

专用扫描透射显微镜HD-2700,配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合高纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高了1.5倍,同时,探针电流提高了10倍。

     近,该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪,进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时,该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置,可以以后加配球差校正进行升。
特点

高分辨率扫描透射电子显微镜成像 
  • HAADF-STEM图像0.136nm,FFT图像0.105nm(高分辨率镜头(*)

  • HAADF-STEM图像0.144nm(标准镜头)

  • 明场扫描透射电子显微镜图像0.204nm(w/o球差校正仪)

高速,高灵敏度能谱分析:探针电流×10倍

  • 元素面分布更迅速及时

  • 低浓度元素检测

操作简化

  • 自动图像对中功能

从样品制备到观察分析实现无缝连接

  • 样品杆与日立聚焦离子束系统兼容

配有各种选购件可执行各种评估和分析操作

  • 同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布(*) 和DF/EELS面分布(*)图像。

  • 低剂量功能(*)(使样品的损伤和污染程度降至zui低)

  • 高精度放大校准和测量(*)

  • 实时衍射单元(*)(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)

  • 采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转)(*),具有自动倾斜图像获取功能。

  • ELV-3000即时元素面分布系统(*)(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)

(*) 选购件

    技术指标

    HD-2700球差校正扫描式透射电子显微镜

    项目
    描述
    图像分辨率

    w/o球差校正仪

    保证 0.204nm(当放大倍数为4,000,000时)
    w球差校正仪保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头)
    保证 0.136nm(HAADF图像)
    保证0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头(*)
    放大倍数100倍 至 10,000,000倍
    加速电压200 kV, 120 kV (*)
    成像信号明场扫描透射电子显微镜:相衬图像(TE图像)
    暗场扫描透射电子显微镜:原子序数衬度图像(Z衬度图像)
    二次电子图像(SE图像)
    电子衍射(*)
    特征X射线分析和面分布(能谱分析)(*)
    电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)(*)
    电子光学系统电子源肖特基发射电子源
    冷场致发射器(*)
    照明透镜系统2-段聚光镜镜头
    球差校正仪(*)六镜头设计
    扫描线圈2-段式电磁感应线圈
    原子序数衬度收集角控制投影镜设计
    电磁图像位移±1 μm
    试片镜台样品移动X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm
    样品倾斜单轴-倾斜样品杆:±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头(*)
    真空系统
    3个离子泵,1个TMP
    限真空10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室)
    图像显示个人电脑/操作系统PC/AT兼容, Windows® XP
    监视器19-inch液晶显示器面板
    图像帧尺寸640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
    扫描速度快扫,慢扫(0.5至320秒/帧)
    自动数据显示记录序号,加速电压,下标尺,日期,时间


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