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美国PMS AirSentry® II 电子迁移率光谱仪

PMS美国粒子监测系统公司

企业性质生产商

入驻年限第3年

营业执照已审核
同类产品AirSentry® II 电子迁移率光谱仪(1件)

产品介绍:

灵敏度: 0 - 50 ppbv


特点

  • 酸类和基底(胺类、氨以及氯化物)的高灵敏度检测

  • 使用点、多点式、移动式监测应用的通用产品配置

  • 体积小,可放在任何位置

  • 以太网,RS-232, 4-20毫安输出

优点

  • 连续监测关键点

  • 耐久可靠的数据收集、控制、分析

  • 长期数据稳定性

  • zui低的每份测试成本

应用

  • 在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测

  • 在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测

  • 化学过滤器有效率的资格确认

  • 遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除

  • 前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析


可用的配件

  • 气悬浮分子沾污真空泵

    为一个AirSentry II使用点传感器提供一个适当的真空源的独立电动泵。典型使用在主泵不可用的时候。

  • Facility Net软件

    Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案,包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器,以及各种第三方产品。