真空测试仪的主要功能是根据磁控管放电 内部离子电流用于测量气泡内的真空度，可用于评估真空气泡的使用寿命。该测试仪可用于真空气泡出厂检测线，也可用于独立测量。真空测试仪的开发与应用！
基本工作原理
磁控放电法测试真空度的基本原理如下：将真空泡的两个触点打开一定距离，将它们放在一个螺线管内大电流。在它们之间施加高压脉冲以在真空泡中产生高压电场和轴向脉冲磁场。这样，在脉冲强磁场和强电场的作用下，真空泡内的电子作螺旋运动，与残留的气体分子碰撞产生电离。产生的离子电流与残余气体密度，即真空度近似成正比。
开发的测试仪可用于测量漏电流、满电流和离子电流三个电流值。
(1) 漏电流。如果真空泡的动静触头相隔一定距离，施加高压直流脉冲电压，两个触头之间、触头与屏蔽罩之间就会产生强电场。根据场发射理论，电子会从阴极和屏蔽罩的表面发射出来，向阳极移动，形成电流，即漏电流。由于电子的自由行程远大于两个触点之间的距离，电子几乎不会与真空泡中残留的气体分子发生碰撞，因此漏电流不能正确反映真空泡的真空度。
(2) 全电流。为了使漏电流电子与残余气体分子发生碰撞，目前常用的方法是在轴向加一个强磁场，使场发射电子在电场和气体分子的共同作用下作螺旋运动。磁场。电子运动的行程和与残余气体分子碰撞的概率增加。当电子与残留的气体分子碰撞时，会发生电离，形成稳定的自持放电。此时测得的电流值为满电流值。
(3) 离子电流。全电流的测量值包括阴极和屏蔽罩发出的漏电流，以及碰撞后残留气体电离产生的离子电流。为了准确测量真空泡内的真空度，必须从全电流中减去漏电流值，得到真正反映真空泡真空度的离子电流值。真空泡使用寿命的评价原则：随着正常使用时间的增加，真空泡的内部真空度也呈线性增加。通过在两个时间段比较合适时测量真空度，可以确定变化率，从而确定真空泡在任何时间使用后的真空度。
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2007-07-22
