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| 洁净度级别 Clean Class | 粒径 Particles Size (um) | ||||
| 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 5.0 | |
| 1 | 35.0 | 7.5 | 3.0 | 1 | －－－ |
| 10 | 350 | 75.0 | 30 | 10 | －－－ |
| 100 | －－－ | 750 | 300 | 100 | －－－ |
| 1000 | －－－ | －－－ | －－－ | 1000 | 7.0 |
| 10000 | －－－ | －－－ | －－－ | 10000 | 70.3 |
| 100000 | －－－ | －－－ | －－－ | 100000 | 700 |
| ISO Classification Number (N) | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um |
| ISO Class 1 | 10 | 2 | －－－ | －－－ | －－－ | －－－ |
| ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | －－－ | －－－ |
| ISO Class 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | －－－ |
| ISO Class 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | －－－ |
| ISO Class 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| ISO Class 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| ISO Class 7 | －－－ | －－－ | －－－ | 352000 | 83200 | 2930 |
| ISO Class 8 | －－－ | －－－ | －－－ | 3520000 | 832000 | 29300 |
| ISO Class 9 | －－－ | －－－ | －－－ | 35200000 | 8320000 | 293000 |
| 洁净度级别 Clean Class | 尘埃*大允许数/立方米 Maximum pemit quantity of Particles percubic metre | 尘埃*大允许数/立方米 Maximum pemit quantity of Microorganism | ||
| ≥0.5um | ≥5.0um | 浮游菌个/M3 | 浮游菌个/·30min | |
| 100 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
| 1000 | 35,000 | 2,000 | 100 | 3 |
| 10000 | 350,000 | 20,000 | 500 | 10 |
| 100000 | 3,500,000 | 61,800 | －－－ | 15 |
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