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IN-2000型双光路高精度紫外臭氧分析仪
本产品是同类产品中的高精确度高品质臭氧分析仪，它目前主要用于半导体、芯片、CVD，ALD等领域。由于它优异的品质，使得它成为那些需要长时期、高稳定地提供连续测量和工艺控制的客户的正确选择，长期使用的所有者成本低。是监测气体发生设备、气柜、气体输送系统以及半导体设备的臭氧浓度的理想选择。也可用于环境监测、职业卫生和科学研究。
主要特点：
微机控制 · 紫外吸收技术
可订购多达5个取样点 压力和温度补偿能力
内置现场编程，可编次序 · 定光学系统
每通道4-20mA隔离输出 · 每通道双报警
主要技术规格
l 取样点数量：1，3或5个内置式多通道阀
l 量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可选。
l 精度等级：5ppb(0-1ppm量程)，0.01ppm(0-10ppm量程)，0.1ppm(0-100ppm量程)，
l 分辨率高：0.001ppm(0-1PPM)，0.01ppm(0-10PPM)
l 流量：内置泵，流量可调(不大于2L/m)
l 输出：模拟4～20mA，以及数字输出
l CE认证;内部自;RS-232通讯接口
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