无尘室（洁净室）测试验收

无尘室（洁净室）测试验收，首先要确认无尘室各项工程已完成并运转至少24小时以上，方能进行如下各项测试。各测试项目，其也有一定的先后顺序。首先要测定HEPA/ULPA风速，HEPA/ULPA的风速是测定其泄漏的前提，滤网没有风速或者风速很小都能直接影响hepa扫漏的准确性，同时也影响环境内粒子的过滤效果。从事洁净室工程设计施工多年经验的工程师应该都知道，竣工验收时，一般新装HEPA风速要达到0.40-0.45m/s以上，同时回风风速一般要在2.0m/s左右，无尘室内的过滤效果才明显，如此风速，一些1.0以上大颗粒会被气流通过回风带走。风速小于0.35的会造成大颗粒在室内一直循环而不被回风带走，这样的话做环境粒子测试将无法通过，待室内运行一段时间后，无尘室正常生产运转的时候将风速范围将调至在0.25-0.45之间亦可保证室内的洁净度。

       HEPA/ULPA的扫漏，一般包括俩个部分，一是中的HEPA/ULPA的表面扫漏，另外就是其安装的周边密封性扫漏，HEPA/ULPA的表面在厂家出厂前也进行过测试，但是不能确定工人在安装过程中会造成损坏，所以表面扫漏也是必须的，周边密封性的扫漏是检验安装是否到位，气密是否严实，在一般的扫漏过程中，周边密封性扫漏是必要的工作，也是扫漏的ZD。HEPA/ULPA风速测试中，为避免边缘受到涡流的影响，一般可以采取四周PVC围护的方式，以利测量结果的准确性。