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快速反应薄膜热电偶的结构工艺

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快速反应型薄膜热电偶的结构技术

快速反应型薄膜热电偶
使用真空蒸发等方法制作两种类型的热电极将材料气相沉积在绝缘板上以形成薄膜安装的热电偶。如图所示,热结极薄(0.01〜0.1μm),因此特别适合于壁温的快速测量。安装时,请使用粘合剂将其粘合到被测物体的壁上。目前,试制的铁镍有三种,尺寸为60×6×0.2mm;铁-康斯坦坦和铜-康斯坦坦。云母,陶瓷片,玻璃和酚醛塑料纸用于绝缘基板。温度测量范围为300℃以下;反应时间只有几毫秒。

快速响应薄膜热电偶
1-热电极; 2-热结;
3-绝缘基板; 4-引线


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2006-11-19
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