压阻压力传感器的工作原理和特点
工作原理
压阻压力传感器利用单晶硅的压阻效应构成。
使用单晶硅晶片作为弹性元件，在单晶硅膜上使用集成电路技术，将一组等效电阻沿单晶硅的特定方向扩散，该电阻连接到桥电路，单晶硅芯片放置在传感器腔中。
当压力变化时，单晶硅会产生应变，因此直接扩散在其上的应变电阻会产生与测得的压力成比例的变化，然后由电桥获得电路相应的电压输出信号。
功能
精度高，工作可靠，频率响应高，磁滞小，体积小，重量轻，结构简单；
易于实现数字显示；
可以测量稍有变化的压力，还可以测量压差，高度，速度，加速度等参数。
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2006-10-11
