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辉光放电质谱仪
一种将辉光放电源当作离子源并且和质谱仪器联接行质谱测定的分析方法,被称为辉光放电质谱法,英文名:glow discharge mass spectrometry,简称为GDMS。GDMS应用于多个学科领域,作用举足轻重,在材料科学领域,GDMS已经变成了无机固体材料,特别是高纯材料杂质成分分析的强有力方法。GDMS已经变成了反应性和非反应性等离子体沉积过程的控制和表征的工具。
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