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辉光放电光谱仪
辉光放电光谱技术是一种分析技术,其能够直接对固体样品进行分析。材料的基板分析为其zui早的应用领域。这些年以来,辉光深度剖面分析技术在材料表面分析领域得到了广泛地应用,人们对此技术也越来越看重。相比于俄歇(AES)、二次离子质谱(SIMS)等其他的表面分析仪器,辉光放电光谱仪尽管原子水平的表层分析不能进行,然而其在表层和深度部面分析方面具有非常显著的优势,其又较为便宜的价格,能够非常迅速地分析和十分方便地定量。
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