氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。